设备开发&制造
MS-3315复式镀膜机植入了金属PVD设备和光学PVD设备的模块选配系统;
MS-3315复式镀膜机具备曲面溅射与平面溅射的双重功能;
MS-3315镀膜设备采用独特复式腔体设计,装载量大,深冷辅助,抽气快,不爆真空,镀膜真空环境稳定膜层稳定性好,布气系统采用以溅射源为基础,分向分流,气体分布更均匀,使膜层沉积厚度及颜色更加均匀可控,磁控溅射阴极靶位多,采用大直径基管,冷却效果好,使用寿命更长。
MS-3315复式镀膜机配备了全自动工艺过程监控系统,该系统采用性能和稳定性较高的高性能PLC作为控制核心,配备环境适应性较强的低功耗工业PC作为上位机实现人性化的人机操作界面和工艺配方的编辑存储以及工艺过程历史数据的记录。丰富的通讯接口使得系统具备极强的扩展性和兼容性。系统同时提供Ethercat 、Profibus、RS485通讯接口实现PLC与工艺电源、流量计、温控仪表等通讯,根据工艺配方参数实现工艺过程全自动控制,实时采集运行数据,并提交到工业PC进行存储以便后续的数据追溯分析。